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    邵武華新化工有限公司

        產品中心

     

    電子級氫氟酸

     

    狀:

    分子式HF 分子量:20.01。

    無色透明溶液,有強烈刺激性氣味,有毒,并有強烈的腐蝕性。

    途:

    電子化學品用于超大規模集成電路芯片,太陽能電池,LED和TFT-LCD面板制造過程的蝕刻和清洗,原子能工業化學試劑。

        產品標準:

    項目

    指    標

    EL級

    UP級

    UP-S級

    氫氟酸(HF), w/%

    49.0-49.5

    49.0-49.5

    49.0-49.5

    顆粒(≥ 0.5 μm ) 個/ml ≤

    25

    25

    25

    顆粒(≥ 0.3 μm ) 個/ml ≤

    -

    150

    150

    顆粒(≥ 0.2 μm) 個/ml ≤

    -

    300

    300

        色度Color, 黑曾≤

    10

    10

    10

        硅氟酸, H2SiF6 ppm ≤

    100

    20

    20

        氯化物, Cl ppm ≤

    5

    5

    0.5

        硝酸鹽, NO3 ppm ≤

    3

    3

    0.3

        磷酸鹽, PO4 ppm ≤

    1

    1

    0.1

        亞硫酸鹽, SO3 ppm ≤

    5

    2

    0.2

        硫酸鹽, SO4 ppm≤

    0.5

    0.2

     

     

     

     

    ppb

        鋅( Zn )

    50

    10

    10

        鈉( Na )

    200

    10

    1

        鎂( Mg )  

    200

    10

    1

    鉑( Pt ) 、鉀( K )、鈦( Ti)、

    鋁( Al ) 、鉬( Mo ) 、鋇( Ba )

        鈣( Ca )、鐵( Fe )    

    100

    10

    1

    鉛( Pb ) 、砷( As ) 、鎘( Cd )

    鎳( Ni )  

    50

    10

    1

    錫( Sn ) 、錳( Mn ) 、鉻( Cr )

    鈷( Co )、銅( Cu ) 、鎵( Ga )

        鍺( Ge )           

    20

    10

    1

        金( Au ) 、鈹( Be ) 、鉍( Bi )

        鋰( Li ) 、銀( Ag )             

    20

    5

    1

        鍶( Sr ) 、鉈( Tl )

        銻( Sb ) 、礬( V )    

    -

    10

    1

     

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